Установка растяжения пленки DME-220

 Главная /// Дисковая резка /// Установка растяжения пленки DME-220

Установка DME-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях.

Особенности

  • Работа с пластинами диаметром до 200 мм

  • Равномерная растяжка пленочного носителя во всех направлениях

  • Нагрев рабочего стола

  • Простота использования и технического обслуживания

Преимущества использования

  • Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после резки

  • Упрощение процесса снятия кристаллов с пленочного носителя

  • Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при съеме с пленочного носителя, ввиду того, что соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом

 

Описание процесса

Растяжение пленки на установке DME-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах.

Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода.

Скачать

Скачать PDF

Технические характеристики DME-220