Фотолитография

 Главная /// Фотолитография

Оборудование для нанесения, проявления и задубливания фоторезиста. В линейке представлены установки с различной степенью автоматизации - от ручных настольных центрифуг до трековых автоматов.

Установка проявления фоторезиста LCS-D

Установка предназначена для проявления фоторезиста, нанесенного на пластины/подложки посредством налива проявляющей жидкости различными типами струй с их последующей промывкой.

Установка нанесения и задубливания фоторезиста LCS-C-B

Установка предназначена для нанесения и сушки фоторезиста и других полимерных материалов. Модули нанесения и сушки смонтированы на единой столешнице и имеют независимое управление.

Установка спреевого нанесения фоторезиста LCS-S

Установка предназначена для нанесения фоторезиста на пластины/подложки методом распыления. Подходит для пластин с глубокой развитой топологией. Особая конструкция ультразвуковой форсунки позволяет получить однородное покрытие за счет создания капель малого диаметра

Установка взрывной литографии LCS-LO

Установка предназначена для проведения процессов очистки, “взрывной” литографии, а также проявления с использованием органических растворителей.

Центрифуга для нанесения фоторезиста серии TCS

Настольная установка серии TCS предназначена для нанесения/проявления фоторезиста и может быть легко сконфигурирована под требования Заказчика. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.

Термоплитка для задубливания фоторезиста HPS

Термоплитка предназначена для сушки задубливания фоторезистивных пленок на пластинах и подложках методом нагрева до высоких температур.