Термоплитка для задубливания фоторезиста HPS
Главная /// Фотолитография /// Термоплитка для задубливания фоторезиста HPS
Термоплитка предназначена для сушки задубливания фоторезистивных пленок на пластинах и подложках методом нагрева до высоких температур.
Особенности
Обработка подложек до 150х150 мм
Кнопка быстрого перезапуска процесса
Температурный диапазон от 25 до 250 ℃
Таймер процесса
Неоднородность температуры ±1 °С
Термоплитка HPS разработана для проведения стандартных процессов сушки и задубливания в фотолитографии. Стандартный диапазон температур составляет до 200 ℃ (опционально до 250 ℃). Установка обеспечивает высокую однородность и повторяемость процесса и позволяет работать с подложками с габаритными размерами до 150х150 мм.
Моторизированные пины
В стандартную комплектацию входят загрузочные пины, которые позволяют легко устанавливать и снимать подложку с термоплитки. Отличительными особенностями являются ее надежная конструкция и простота эксплуатации.
