Установка взрывной литографии LCS-LO
Главная /// Фотолитография /// Установка взрывной литографии LCS-LO
Установка предназначена для проведения процессов очистки, “взрывной” литографии, а также проявления с использованием органических растворителей.
Особенности
Взрывная литография
Проявление в органических растворителях
Очистка струей высокого давления
Обработка пластин до диаметром до 200 мм и подложек до 177х177 мм
Удобное сенсорное управление
Широкие возможности
Наличие широкого спектра технологий дозирования таких, как налив лужей, распыление, а также высоконапорная обработка струей высокого давления позволяет данной установке реализовывать множество процессов литографии. Среди наиболее типичных из них можно выделить проявление, взрывную литографию и очистку поверхности.
Высокий уровень безопасности
В комплект поставки установки входит система безопасности, которая анализирует работу вытяжной вентиляции, следит за наличием протечек в системе и концентрацией паров ЛВЖ. В случае возникновения внештатной ситуации подача питания на оборудование незамедлительно прекращается для защиты обслуживающего персонала.
Спроектирована для работы с органическими растворителями
Все детали и узлы установки, контактирующие с органическими растворителями, предназначены для работы с ЛВЖ и выполнены из устойчивых материалов во взрывозащищенном исполнении.
Для мелкосерийных производств
Простота в использовании и обслуживании, быстрая переналадка на новый технологический процесс делают данную установку оптимальной для использования в условиях мелкосерийного производства, научно-исследовательских институтов и лабораторий.
