Установка спреевого нанесения фоторезиста LSC-S

Главная /// Фотолитография /// Установка спреевого нанесения фоторезиста LSC-S

Установка предназначена для нанесения фоторезиста на пластины/подложки методом распыления. Подходит для пластин с глубокой развитой топологией. Особая конструкция ультразвуковой форсунки позволяет получить однородное покрытие за счет создания капель малого диаметра.

Особенности

Обработка пластин диаметром до 200 мм
Удобное сенсорное управление
Нагревательный стол с функцией вращения
Для мелкосерийного производства и лабораторий

Для пластин с глубокой развитой топологией

Метод распыления позволяет получить равномерное покрытие фоторезиста на пластинах/подложках с высокой топологией. Равномерность достигается за счет следующих факторов:

Ультразвуковая форсунка позволяет получить атомизированную струю с размером капли порядка 10 мкм (в зависимости от вязкости используемого фоторезиста)
Точная регулировка расхода фоторезиста на форсунку
Постоянство скорости перемещения форсунки относительно поверхности пластины за счет ее движения по траектории «меандр»

Для получения толстых многослойных покрытий установка оснащена вакуумным поворотным столом с подогревом. Нагрев стола позволяет подсушивать нанесенный слой фоторезиста перед нанесением нового слоя.