Установка отмывки и сушки пластин методом Марангони MRD

Главная /// Химическая обработка /// Установка отмывки и сушки пластин методом Марангони MRD

Установка предназначена для отмывки и сушки пластин методом «Марангони» после операций химической обработки. Процесс является особо чистым и исключает повреждение пластин при обработке за счет отсутствия движущихся частей в оборудовании.

Особенности

Бережное обращение с пластинами в ходе процесса
Признан лучшим методом сушки в отрасли
Отсутствие контакта с воздухом во время сушки
Групповая обработка пластин в кассете
Низкое потребление изопропилового спирта
Наличие систем безопасности для работы с изопропиловым спиртом

Эффект «Марангони»

Погруженные в воду пластины медленно проходят через тонкий слой изопропилового спирта, сформированного на поверхности воды. Поскольку поверхностное натяжение у спирта ниже, чем у воды, то создается градиент поверхностного натяжения в результате которого, вода стекает с поверхности кремниевой пластины и оставляет ее сухой и чистой. Уходящая вода также уносит с собой любые примеси или частицы, находящиеся в ней.

Конструкция установки

Корпус установки выполнен из полипропилена, ванна промывки и сушки из PVDF. В установке использованы комплектующие предназначенные для работы с особо чистыми средами. Клапана, трубки и трубопроводы из PFA. Азот и изопропиловый спирт проходят дополнительную очистку на микрофильтрах перед подачей в ванну. Нагреватель азота выполнен из электрополированной нержавеющей стали.

Алгоритм работы

Кассета с пластинами устанавливается в ванну с помощью специального робота-загрузчика, автоматическая крышка закрывается над ванной
Ванна наполняется деионизованной водой и начинается процесс отмывки. Качество отмывки контролируется с помощью датчика электропроводности воды, который установлен в переливном кармане.
После окончания процесса отмывки на поверхность воды подаются пары изопропилового спирта, которые формируются в тонкий слой на поверхности воды. Вода в ванне медленно сливается, происходит процесс сушки по методу Марангони.
После слива начинается процесс «досушки» оставшихся капель воды в пазах кассеты. Через форсунки крышки подается горячий азот, а робот-загрузчик медленно качает кассету с пластинами.
Автоматическая крышка открывается и робот достает кассету с пластинами из ванны