Центрифуга для нанесения фоторезиста серии TCS

Главная /// Фотолитография /// Центрифуга для нанесения фоторезиста серии TCS

Настольная установка серии TCS предназначена для нанесения/проявления фоторезиста и может быть легко сконфигурирована под требования Заказчика. Установка ориентирована на работу в мелкосерийных производствах, научно-исследовательских институтах или лабораториях.

Особенности

Хранение до 50 программ обработки с 24 шагами каждая
Кнопка быстрого запуска для повторяющегося процесса
Удобное управление на базе сенсорного дисплея
Вакуумная или механическая фиксация пластин/подложек
Прозрачная крышка из ПВХ с датчиком блокировки работы при открытой крышке

Равномерное покрытие пластин и подложек

В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и получать равномерное покрытие на пластинах диаметром до 150 мм или прямоугольных подложках с габаритными размерами до 127х127 мм.

Для обеспечения химической совместимости с дозируемыми веществами модуль центрифуги может быть выполнен из различных материалов: полипропилен, фторопласт, анодированный алюминий.

Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение позволяет задавать оператору сложные рецепты обработки, которые могут включать в себя до 50 шагов с индивидуальными значениями ускорения, скорости и времени.

Большой набор опций

Шприцевой пневматический дозатор фоторезистов
Моторизированный шприцевой дозатор для фоторезистов с высокой вязкостью
Блок дозирования из бутыли под давлением
Наддув азота в модуль центрифуги
Чаша центрифуги из анодированного алюминия, фторопласта или нержавеющей стали

Удаление краевого валика (edge bead removal)
Широкий выбор легкосъемных столиков из различных материалов с вакуумным или механическим креплением пластин/подложек
Инструмент для центрирования пластин/подложек на вакуумных столиках