Установка жидкостной химической обработки WB

 Главная /// Химическая обработка /// Установка жидкостной химической обработки WB

 

Предназначена для проведения жидкостной химической обработки в процессах производства полупроводников, оптики, MEMS и других. Основные компоненты установок проектируются и изготавливаются на собственном производстве, позволяя адаптировать оборудование под конкретные задачи Заказчика.

Реализуемые процессы

  • Очистка SC-1/SC-2

  • Травление Al, Cr, Au, Pt

  • Проявление и снятие резиста

  • Взрывная литография

  • Гальваническое или химическое осаждение металлов Cu, Au, Ni, Pd

  • Обработка в органических растворителях

  • И другие

Разработана под Ваши задачи

Установки жидкостной химической обработки доступны в различных вариантах исполнения и могут быть адаптированы под требования конкретного технологического процесса. Каждый заказ тщательно прорабатывается нашими инженерами, определяется состав оборудования, проводится анализ используемых материалов на химическую совместимость.

Дополнительные компоненты

  • Центрифуги для нанесения и проявления фоторезиста

  • Термоплитки для сушки и задубливания фоторезиста

  • Центрифуги для отмывки и сушки пластин

  • Модуль сушки пластин методом Марангони

  • Блоки подачи и фильтрации растворов

 

Стандартное оснащение

  • Цельный сварной корпус из полипропилена для работы с кислотами и щелочами

  • Рабочая зона из нержавеющей стали для работы с органическими растворителями

  • Система вытяжной вентиляции

  • Поддон для локализации аварийных утечек

  • Регулируемый по высоте защитный прозрачный экран

  • Фторопластовые пистолеты для подачи азота и деионизованной воды

Состав ванн

  • Корпус ванны из PTFE, PVDF, PP и других материалов

  • Системы поддержания температуры с прямым и косвенным нагревом

  • Установки фильтрации растворов

  • Программируемые источники тока

  • Датчики измерения электропроводности, pH, Rx и прочие

  • Ультразвуковые генераторы

  • И другое оборудование

Скачать

Скачать PDF

Технические характеристики WB